1、使用特制的高能高臭氧UV紫外線光束照耀來裂解排放的廢氣廢氣，能有用地處理：硫化氫、甲硫氫、甲硫醇、甲硫醚、二甲二硫、二硫化碳和苯乙烯，硫化物H2S、VOCs類等廢氣的分子鏈結構，使有機或無機高分子廢氣化合物分子鏈，在高能紫外線光束照耀下，降解轉變成低分子化合物，如CO2、H2O等，從而到達有用的治理，完成達標排放。

2、使用高能高臭氧UV紫外線光束分解空氣中的氧分子發生游離氧，即活性氧，因游離氧所攜正負電子不平衡，所以需求與氧分子結合，進而生產臭氧。臭氧對紫外線光束照耀分解后的有機物具有的氧化作用，對惡臭氣體及其它刺激性異味有良好的削除作用。

3、惡臭氣體經過廢氣搜集排風設備進入到裝有UV高效光解氧化模塊的反應腔后，高能UV紫外線光束及臭氧對惡臭氣體進行協同分解氧化反應，使惡臭氣體物質降解轉化成低分子化合物、水和二氧化碳，再經過排風管道排出室外。

4、使用高能UV光束裂解惡臭氣體中細菌的分子鍵，破壞細菌的核酸(DNA),再經過臭氧進行氧化反應，到達脫臭及殺滅細菌的目的。

5、使用高能高臭氧紫外線光束，來分解空氣中的含氧的分子，并發生游離氧，也便是我們所了解的活性氧，由于游離氧所攜正負電子功能不平衡，所以這就需求與氧分子結合，從而發生臭氧的進程。